, 26 2018
        

:
. .
, " , :
(MEMS) , , " : " . , - , . ".

(MEMS)
, , . , .
, (MEMS).
' , , . ' , , . : " , ".
. , 5 :
, , , .


, " " . . , .

,
, 4.5 2012. , . .

!
, .
? ?
! .

- 259
    ,   -8 : , , ,  , , , .     ,    .
   , , .    " .
, , , .
,     . / / . !